INOX東栄株式会社

INOX東栄株式会社

精密液体温調器

オリオン機械の液体精密温調機は、特許技術のヒートポンプバランス制御によるヒータレス化で最大80%の省エネで±0.05℃の高精度を実現した高精度水用温度調節機、ペルチェ方式を採用した液体温調機、薬液のダイレクト温度制御装置など、各種製造分野から理化学分野まで幅広く使用されています。半導体製 造工程、FDP製造工程、検査装置など、各種機器の局所温調や薬液温調などに利用されています。
【用途・使用例】ウェハレジスト液・エッチング液温調、半導体製造装置温調、液晶ガラス塗布液温調、製造装置温調、薬液温調、他
【メーカー名】オリオン機械
【関連カタログ】精密液体温調機器

高精度水用温度調節機/プレシジョンチラーPEC(空冷・水冷)

  • 独自の冷凍回路により水温度を±0.05℃で制御
  • 温調時のヒータレス化を実現し消費電力を大幅に削減
  • ヒートポンプバランス制御(特許)で最大80%の省エネ
  • 大型装置へもダイレクト送水が可能、高揚程ポンプ搭載
  • PC端末からの操作・状態確認が可能
  • 多機能コントローラ搭載
  • 適用流体:水
  • 温度制御:±0.05℃(負荷安定時)
  • 温度制御範囲:10~60℃(一部機種)
  • 冷却能力:1.0~6.2kW
※性能値は必ず製品詳細をご覧ください

エチレングリコール水溶液用投げ込み式冷却機/キャリクールLPC

  • 水槽に冷却コイルを入れるだけで冷却
  • 軽量設計で手軽に移動・設置が可能
  • 耐薬品性に優れた冷却コイルを使用(SUS304とチタンの2種類)
  • 温度コントローラ(オプション)取り付けにより温度制御が可能
  • 適用流体:工業用エチレングリコール水溶液
  • 温度制御範囲:-20~30℃(温度制御にはコントローラが必要)
  • 冷却能力:160~430W
※性能値は必ず製品詳細をご覧ください

エチレングリコール水溶液用循環式冷却機/キャリクールLPB

  • 常温から低温までの精密な温度制御が可能
  • 高効率の冷却方式を採用
  • PID制御と見やすいデジタル表示を採用
  • 水槽なし
  • 適用流体:工業用エチレングリコール水溶液
  • 温度制御範囲:-20~40℃
  • 冷却能力(50/60Hz):500/520W
※性能値は必ず製品詳細をご覧ください

水用電子冷熱式温調機/ペルサーモETU(水冷)

  • 電子冷却で高精度液温制御を実現
  • ペルチェ温調方式と定電流制御で最大60%の省エネを実現
  • 水槽内蔵
  • 適用流体:清水
  • 温度制御:±0.03℃(負荷安定時)
  • 温度制御範囲:10~60℃
  • 冷却能力:200~700W
※性能値は必ず製品詳細をご覧ください

高精度水用温度調節機/ペルサーモETS(水冷)

  • ペルチェ温調方式
  • 高精度な温度制御と業界最小の小型化を実現
  • 半導体・液晶・光ディスク・バイオ関連に最適
  • 電源ユニットと冷熱ユニットのセット
  • 水槽なし
  • 適用流体:水
  • 温度制御:±0.1℃(負荷安定時)
  • 温度制御範囲:10~50℃
  • 冷却能力(50/60Hz):116/104・232/220W
※性能値は必ず製品詳細をご覧ください

薬液用温調装置/ケミカルペルサーモETD・ETN(水冷)

  • ウェットプロセスに欠かせない薬液をダイレクトに高精度に温調可能
  • 接液部オールテフロンの熱交換器採用により各種薬液に対応可能
  • 0.3MPa の耐水圧構造
  • 電源ユニットと冷熱ユニットのセット
  • 水槽なし
  • 適用流体:DIW/DHF/BHF/FPM/SC1
  • 温度制御:±0.1℃(負荷安定時、条件により変動)
  • 温度制御範囲:15~50℃
  • 冷却能力:約280~920W
※性能値は必ず製品詳細をご覧ください

※性能・仕様等の情報は必ず製品詳細をご確認ください。
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製品情報
 
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